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壓力開(kāi)關(guān)傳感器

日期:2024-08-10 23:35
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摘要:

     壓力開(kāi)關(guān)傳感器是一種將壓力轉換成電流/電壓的器件,可用于測量壓力、位移等物理量。壓力傳感器的種類(lèi)很多,其中硅半導體傳感器因其體積小、重量輕、成本低、性能好、易集成等優(yōu)點(diǎn)得到廣泛的應用。硅壓阻式傳感器屬于其中的一種,它是在硅片上用擴散或離子注入法形成四個(gè)阻值相等的電阻條,并將它們接成一個(gè)惠斯登電橋。當沒(méi)有外加壓力時(shí),電橋處于平衡狀態(tài),電橋輸出為零。當有外加壓力時(shí),電橋失去平衡而產(chǎn)生輸出電壓,該電壓大小與壓力有關(guān),通過(guò)檢測電壓,即可得到相應的壓力值。但這種傳感器由于四個(gè)橋臂電阻不完全匹配而引起測量誤差,零點(diǎn)偏移較大,不易調整。  

     Motorola公司生產(chǎn)的X型硅壓力開(kāi)關(guān)傳感器則可以克服上述缺點(diǎn)。與惠斯登電橋不同,Motorola**技術(shù)采用單個(gè)X型電阻元件,而不是電橋結構,其壓敏電阻元件呈X型,因而稱(chēng)為X型壓力開(kāi)關(guān)傳感器。該X型電阻是利用離子注入工藝光刻在硅膜片上,并采用計算機控制的激光修正技術(shù),溫度補償技術(shù),使MotorolaMPX系列壓力開(kāi)關(guān)傳感器的精度很高,其模擬輸出電壓正比于輸入的壓力值和電源偏置電壓,具有極好的線(xiàn)性度,且靈敏度高,長(cháng)期重復性好。此系列中的MPX2100DP壓力傳感器是一種高精度硅壓式壓力傳感器,本系統采用MPX2100DP作為壓力開(kāi)關(guān)傳感器,可以很好地滿(mǎn)足系統的要求,它具有如下特點(diǎn):

    ①由于采用激光微調技術(shù),使電橋零漂輸出很小,一般小于±1mV;

    ②傳感器靈敏度較高,為40mV±1.5mV;

    ③傳感器由熱敏電阻組成溫度補償網(wǎng)絡(luò ),在-40℃~ +125℃范圍內有較好的溫度補償效果,從而提高了傳感器的精度;

    ④具有極好的線(xiàn)性度(±0.25%F.S); 

    ⑤有較寬的工作溫度范圍(-40℃~ +125℃);

    ⑥允許過(guò)載大(400%)。 
文章來(lái)源:上海卓盼電子科技有限公司  www.tehui77.com 

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