近日國機集團所屬沈陽(yáng)儀表院承擔的沈陽(yáng)市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展計劃項目——“高性能硅電容壓力傳感器”順利通過(guò)驗收，該項目填補了國內高性能硅電容壓力傳感器的空白。
      該項目采用先進(jìn)的微電子和微機械加工相結合的工藝技術(shù)，在硅電容傳感器設計、制造工藝技術(shù)、傳感器封裝結構等方面具有**性，解決了硅電容傳感器研制的工藝技術(shù)難題，開(kāi)發(fā)研制出完全擁有自主知識產(chǎn)權的新型高性能硅電容差壓傳感器產(chǎn)品，產(chǎn)品精度優(yōu)于0.075%FS，技術(shù)水平達到國內**、國際**。

      該項目建成了年生產(chǎn)能力一萬(wàn)臺的硅電容差壓傳感器生產(chǎn)線(xiàn)，實(shí)現了產(chǎn)品的系列化生產(chǎn)，并**實(shí)現智能變送器產(chǎn)品核心傳感器的國產(chǎn)化配套，打破了國外的技術(shù)封鎖，*******。同時(shí)，作為上游核心器件，該項研究帶動(dòng)了傳感器、變送器及相關(guān)儀表產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，解決了有表無(wú)芯的問(wèn)題，有效地支撐了**裝備制造產(chǎn)業(yè)鏈建設。高性能硅電容壓力傳感器順利通過(guò)驗收對我國壓力傳感器的發(fā)展和進(jìn)步邁下了堅實(shí)的一步。
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